静電気放電発生箇所検出方法及び検出装置(特許第4931252号)
本発明は,電子関連の製造現場などで深刻化している,静電気放電トラブルに対応するため,複数の受信アンテナを製造現場に精度良く設置し,放電を検出したら,双曲線法を用いて放電源の三次元座標を瞬時に算出し,放電源の位置を精度良く特定することができます。アンテナの設置と放電源の特定の際,レーザー距離計を用いる事で,条件の異なる様々な環境でも,精度良く,効率的に作業できることを特徴としています。
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静電気発生箇所可視化方法及び可視化装置(特許第5374687号)
本発明は,電子関連の製造現場等において,静電気放電が発生しないかを常時監視し,放電を検出したら,放電源座標を瞬時に算出し,放電位置を被測定物の画像上にマーキング表示することで,ほぼリアルタイムに放電の発生状況を可視化することができます。
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静電気放電発生源検知方法および静電気放電発生源可視化方法(特許第6447918号)
本発明は「静電気発生箇所可視化方法及び可視化装置(特許第5374687号)」の応用特許で,放電源を示すマーキング方式を変更することで,従来システムより検出性能が低い安価な計測器を使用しても放電源を特定できるようになり,装置価格を大幅に低減できました。
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